ICPMS等離子體質譜儀主要用于液體試樣(包括經化學處理能轉變成溶液的固體試樣)中金屬元素和部分非金屬元素的定量分析。使用霧化器將樣品溶液泵入進口系統，形成微小的樣品氣溶膠。樣品氣溶膠的一部分在等離子體被離子化，通過雙錐將樣品離子從等離子體提取至含有四極桿質量過濾器的真空系統中。
通過離子光學系統將不同質荷比的離子輸送到質量分析器中。質量分析器選擇特定質荷比的離子，然后通過電子倍增器對特定質荷比的離子計數。將特定元素的離子得到的 CPS 值與校正曲線進行比較，計算出樣品元素的濃度。
ICPMS等離子體質譜儀可廣泛應用于下面這些領域中：
一．材料類
1．室內裝飾、裝修材料中的可溶性重金屬、游離甲醛、揮發性有機化合物、苯、甲苯、二甲苯等
2．電子、通訊材料及其包裝材料中的無機污染物及有機污染物
3．醫療器械及其包裝材料中的有害物質及化學成分
二．環境與安全類
1．食具容器、包裝材料的成分分析及有害物質分析
2．室內空氣質量中的：甲醛、氮氧化物、二氧化碳、二氧化硫、氨、可吸入顆粒物、氡等
3．水（污水、飲用水、礦泉水等）中的：有害重金屬及陰陽離子、硫酸根離子、氟離子、氯離子、硝酸根離子、磷酸根離子、COD、BOD等
4．玩具、兒童用品及其包裝材料中的：有害重金屬（銻、砷、鋇、鉻、鎘、鉛、汞等）
5．肥料中的重金屬及微量元素：砷、汞、鉛、隔、鉻、錳、鐵等
6．化妝品、洗滌劑及其包裝材料中的有害成分：砷、汞、鉛等
三．醫藥食品類
1．中西藥及其包裝材料中的有害重金屬、微量元素、農藥殘留物、抗生素、有效成分等
2. 生物組織中的重金屬、微量元素及有機成分
3．保健品及生物制品中的有害成分、營養成分等
4．食品及其包裝材料中的有害物質、重金屬、微量元素及其它營養成分
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